представляет собой специализированный автоматизированный измерительный комплекс на основе универсального Фурье-спектрометра ФСМ1201. Он снабжён двухкоординатным измерительным столом и позволяет в автоматическом режиме измерять параметры кремниевых пластин в заданных оператором точках для пластин диаметром до 200 мм. Процесс получения спектров, их обработка и контроль за перемещением пластины полностью автоматизированы. Маршрут перемещения выбирается из стандартных конфигураций (1, 5 и 9 точек) или задается оператором. Результаты измерений автоматически протоколируются и заносятся в базу данных.
Основные контролируемые параметры:
Концентрация междоузельного кислорода;
Толщина эпитаксиальных слоев кремниевых структур типа n-n+ и p-p+;
Концентрация фосфора в слоях ФСС и бора/фосфора в слоях БФСС.
Особенности:
Высокая чувствительность.
Рекордное в сравнении с обычными ИК спектрометрами отношение сигнал/шум позволяет на порядок снизить порог обнаружения контролируемых примесей и повысить точность определения концентрации.
Высокая производительность.
Время получения спектра при разрешениях и фотометрической точности, соответствующих требованиям стандартов, не превышает 15...20 сек. Это делает возможным сплошной контроль пластин и структур в процессе производства, а также позволяет исследовать неоднородность пластин измеряя распределения контролируемого параметра.
Достоверность анализа.
Анализ и идентификация спектров осуществляются автоматически с использованием библиотек стандартных спектров, включаемых в базу данных спектрометра.
(
