8(495)642-86-60
8(800)500-93-80
8(495)642-86-60
8(800)500-93-80

Масс-спектрометр "ЛЮМАС-30"


Масс-спектрометр "ЛЮМАС-30"
Производитель: Люмэкс
Цена розн.:   по запросу
шт.

Времяпролетный масс-спектрометр Люмас-30

«Люмас-30» представляет собой новый тип элементного анализатора, предназначенный для прямого анализа монолитных, тонкослойных и порошковых материалов: металлов, полупроводников и диэлектриков, а также объектов со смешанной слоистой структурой диэлектрик-металл, металл-полупроводник и диэлектрик-полупроводник (например, коррозионные пленки на поверхности металла).

Путем сочетания газоразрядной системы ионизации и времяпролетного механизма детектирования ионов удалось реализовать высокую эффективность распыления поверхности пробы, высокую скорость регистрации масс-спектров во всем диапазоне регистрируемых масс и высокую чувствительность для большинства элементов.

Принцип действия основан на процессах:

высокоэффективной атомизации анализируемых образцов в результате катодного распыления в импульсном тлеющем разряде как проводящих, так и непроводящих электрический ток твердотельных материалов;
импульсной ионизации атомов образца в плазме тлеющего разряда как в период свечения, так и в период послесвечения тлеющего разряда, что позволило достичь близких чувствительностей для широкого круга элементов;
высокоскоростной (до 5000 спектров/с) регистрации времяпролетных спектров.

Достоинства прибора:

  • возможность регистрации большого числа спектров за время распыления одной пробы, что позволяет улучшить отношение сигнал/шум за счет статистического усреднения зарегистрированных спектров;
  • прямой анализ твердых проб, включая растворенные в пробах газы с высокоэкономичным расходом рабочего газа и вещества пробы за счет согласования во времени импульсной ионизации с времяпролетной регистрацией масс-спектра, что позволяет существенно снизить пределы обнаружения;
  • высокая эффективность распыления и ионизации элементов пробы в импульсном разряде и, как следствие, низкие пределы обнаружения (50-200 ppb);
  • большой динамический диапазон определяемых содержаний элементов (до 7 порядков величины), что на 2-3 порядка лучше пределов обнаружения других методов прямого анализа твердых проб;
  • высокоэффективное подавление газовых компонент за счет временной дискриминации и использования водорода, как реакционного газа;
  • широкий круг анализируемых объектов, включающий в себя, кроме металлов, диэлектрики и полупроводники. Эта возможность обеспечивается использованием коротких (1-80 мкс) импульсов разрядного тока, позволяющих распылять непроводящие и слабопроводящие электрический ток материалы;
  • возможность прямого масс-спектрального анализа послойных неоднородностей самых разнообразных объектов (с послойным разрешением около 3 нм);
  • возможность прямого масс-спектрального анализа многослойных тонкопленочных покрытий;
  • отсутствие растворения в процедуре пробоподготовки.

Анализируемые объекты:

металлы;
полупроводниковые материалы;
диэлектрики;
объекты со смешанной слоистой структурой диэлектрик-металл, металл-полупроводник и диэлектрик-полупроводник (например, коррозионные пленки на поверхности металла);
порошковые пробы.

Основные особенности «Люмас-30»

Импульсный разряд
Импульсный тлеющий разряд формируется последовательностью коротких импульсов напряжения и, как и радиочастотный разряд, может быть применён к прямому анализу как проводящих, так и непроводящих проб. Характерная длительность импульсов такого типа разряда лежит в диапазоне от нескольких микросекунд до нескольких миллисекунд. Тлеющий разряд постоянного тока, как правило, потребляет мощность порядка 1-4 Вт, радиочастотный разряд - порядка 20-50 Вт, что дает сигнал примерно той же интенсивности по порядку величины, что и разряд постоянного тока при меньшем потреблении энергии. В импульсном же разряде мгновенная мощность может достигать нескольких киловатт, и скорость распыления пробы в течение импульса примерно на два порядка больше, чем в разряде постоянного тока. Такая большая мощность приводит к увеличению сигнала на 1-4 порядка при использовании импульсного тлеющего разряда по сравнению с разрядом постоянного тока.

Полый катод
Существует два основных типа источников с тлеющим разрядом, применяемых для анализа твердотельных образцов: тлеющий разряд с плоским катодом (разряд Гримма) и тлеющий разряд в полом катоде. По сравнению с разрядом Гримма в разряде с полым катодом реализуются более высокая скорость распыления пробы и ионизация распыленных атомов. Как следствие, разряд в полом катоде отличается более низкими пределами обнаружения. Импульсный разряд в полом катоде позволяет еще более увеличить скорости распыления и ионизации и, кроме того, подавить за счет временной дискриминации газовые компоненты, мешающие определению ряда элементов.

Времяпролетный масс-спектрометр
Из масс-спектральных систем наиболее приспособленным для работы с импульсными источниками ионов является времяпролетный масс-спектрометр, поскольку в данном случае реализуется наибольшая эффективность детектирования ионов.

Технические характеристики:

Балластный газ Ar или Ar+H2
Вакуумная система "Сухой" форвакуумный насос и 2 турбомолекулярных насоса (250 л/мин и 70 л/мин)
Время анализа одной пробы 3-25 мин
Время выхода на рабочий режим при первичном включении 30 мин
Диапазон измеряемых масс 1-400 a.e.m.
Динамический диапазон 8 порядков
Питание 200 В
Погрешность определения 2-7 %
Послойное разрешение 3 нм
Потребляемая мощность 1100 ВА
Пределы обнаружения 20-50 ppb
Расход балластного газа 1 балллон (40 л) в год
Количество одновременно определяемых за один аналитический цикл элементов не ограничено

Онлайн-заявка

Если вы заинтересованы в приобретении товара "Масс-спектрометр "ЛЮМАС-30"", или хотите задать вопрос, то сделайте это прямо здесь:

Наименование предприятия*:
Тип Вашей организации:
Ваше имя*:
Ваш e-mail*:
Номер телефона:
Сообщение:
Введите цифры, указанные на картинке:

← вернуться в категорию "Аналитические приборы прочие"

 


Лидеры продаж


©2004-2017 NV-lab. Все права защищены.
г. Москва, ул.Богородский вал, д. 3. Реквизиты
Тел/факс: 8(495)642-86-60 (многоканальный)
Филиал в Новосибирске: ул. 1-я Ельцовка, д.1
Тел/факс: 8 (383) 246-14-34
8-800-500-93-80 (бесплатный)


Глоссарий
8(495)642-86-60
8(800)500-93-80

Корзина
Каталог
Производители
Спецпредложения
Инструкции
Прайс-листы / Каталоги
Контакты